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[综合] 【特色服务】米格实验室--SiC单晶检测服务

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米格实验室123 发表于 2021-3-26 11:48:03 | 显示全部楼层 |阅读模式 打印 上一主题 下一主题
 
1.服务产品简介
本服务着重解决企业在SiC单晶生产、外延生长、芯片加工中的原材料品控、单晶生长质量测试、科研项目验收过程中遇到的检测分析的需求。通过服务能够帮着客户一站式、全参数、低成本、高效率的实现产品的快速检测。同时对于高端的一些检测项目,平台也可以根据客户需求定制检测方法、标准和方案。具体服务内容包含:电阻率、参考面取向和位置、参考面长度、晶型确定、微管密度、结晶质量、六方空洞和裂纹、位错密度、多型及体杂质含量。

2.产品优势
本产品专门针对SiC单晶进行开发的测试解决方案,具有一站式覆盖、全参数测量、低成本、高效率,能够满足客户对质量、交期、价格的综合要求,其他同行相对比较单一、服务周期长、价格成本高。另外通过测试评价能够给出系统的参数指标的优化和整改意见,平台SiC方面的专家资源优势可以帮助企业解决具体技术问题和指导工作。

3. 检测内容主要涉及以下几方面的分析
1)晶体完整性:微管密度、结晶质量、六方空洞和裂纹、位错密度、多型;
2)晶型:晶型确定;
3)杂质:体杂质含量;
4)电学测试:电阻率;

4. SiC单晶检测解决方案
SiC单晶检测解决方案A级
SiC单晶检测费12万
A级-10万
参照同行业市场服务价格
SiC单晶检测解决方案B级
SiC单晶检测费6万
B级-5万
参照同行业市场服务价格
SiC单晶检测解决方案C级
SiC单晶检测费3.5万
C级-3万
参照同行业市场服务价格

5.主要客户
天科合达、中科钢研、世纪金光、天域半导体、中科晶电、北京航空航天大学、中科院物理所等共计30多家单位的50次检测。

6.主要应用
应用于衬底生产、外延生长、芯片加工中的原材料品控、单晶生长质量测试等领域。利用众多单晶材料检测设备为企业提供完善的测试分析服务。

A.光学表面分析仪是针对SiC单晶片与外延片行业的表面缺陷的检查分析仪器。
B.平整度测试仪用来测试TTV、TIR、LTV、BOW、WARP等晶片面型参数
C.原子力显微镜用来测量样品表面的粗糙度。
D.偏光显微镜用来测量样品表面缺陷。
E.HORIBA公司的拉曼光谱仪用来绘制单晶材料晶型分布图。


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